上海欧赞自动化设备有限公司

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​多位晶圆四探针测试仪 
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结合jandel公司生产的四探针探头对晶片的电阻率进行测量。




主要特点:

可简单预设待测晶片上1到25个测量位置;

8英寸/6英寸晶片真空吸盘;

带有电流开关的杠杆操作探头,可避免产生火花;

定位精度小于±1mm;

幻灯片准确度不高于测量区域;

遮盖待测区域,消除光电干扰;


技术指标:

8〞型号表具有真空卡槽、定心凹槽,镊子切口的硬铝合金
晶片尺寸Φ=5〞/6〞/8〞
预设测量位置

中心点:垂直直径四个点,32,38,50,57,68,94mm

晶片   1/2R   距边缘6mm

5〞   32mm    57mm

6〞   38mm    68mm

8〞   50mm    94mm

6〞号晶片尺寸Φ=3〞/4〞/5〞/6〞
预设测量位置中心点;垂直直径四个点,15,20,25,35,50,60mm
可配真空线路、真空泵
外形尺寸355mm * 215mm * 195mm(H)
净重

6〞:3.5kg

8〞:4.0kg


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多位半导体晶圆四探针测试仪.jpg

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